| 规格 参数 | CNC-2515 | CNC-3020 | CNC-4030 | CNC-5040 |
| 工 作 台 | X/Y轴行程 | 250*150 | 300*200 | 400*300 | 500*400 |
| Z轴行程 | 有效空间245mm,调焦行程200mm，工作距离95mm |
| 金属台面尺寸 | 450*320 | 450*350 | 550*450 | 700*600 |
| 玻璃台面尺寸 | 300*200 | 330*230 | 430*330 | 530*430 |
| 传动型式 | 传动型:进口X/Y/Z轴精密线性导轨和进口研磨级滚珠螺杆 |
| 测量伺服驱动系统 | 光学尺分辨率:X/Y/Z轴0.0005MM（0.5UM） |
| 测量精度:≤3UM+L/200 重复精度:≤3UM+L/200 |
| X/Y/Z三轴高性能伺服电机，双重闭环控制系统 |
| 影像系统 | 摄像机:日本索尼彩色1/3″CCD 摄像机放大倍率30-230X |
| 镜头:NAV高清连续变倍镜头//连续放大倍率0.7-4.5X 可选配:0.5X物镜时，总放大倍率15-115X 可选配:2X物镜时，总放大倍率60-460X |
| 光源系统 | 程控八区光源，表面光源与透射光源均为LED冷光源、寿命长、软件自动调节！ |
| 仪器外形尺寸（L*W*H） | 650*850*1650 | 700*850*1650 | 800*900*1650 | 900*1050*1650 |
| 仪器重量（KG） | 250 | 330 | 500 | 720 |