设备型号

　　主要参数

　　电压Voltage 三相3 phases 380V 50Hz

　　功率Power 3KW 5KW 8KW 10KW 10KW

　　外形尺寸2000*1500*1000mm 3000*1800*1500mm

　　腔体尺寸320*320mm

　　550*700mm

　　650*800mm

　　750*900mm

　　850*900mm适用材料

　　型号 Model: Parylene N/C/D/F

　　成膜速率

　　C型 Type C≥5 μm/h N型 Type N≥0.8 μm/h D型 Type D≥5μm/h F型Type F≥5 μm/h

　　沉积膜层厚度 0.001-100 μm 0.1-50 μm

　　膜厚均匀性

　　优于2% Better than 2% 优于5% Better than 5%

　　腔室真空度

　　配套装置

　　1、表面预处理偶联剂工艺1套，促进Parylene膜层与基材的附着力。2、腔体内带载物治具，可以滚镀、摆镀、调镀，任意选用。

　　安全装置

　　设备带有自锁功能，设备在运行过程中出现异常，设备会设备系统主要有真空抽气及测量系统、真空腔体系统、蒸发室、裂解室、沉积室加热系统、高温石英管管道系统、冷阱过滤系统，PLC控制系统及辅助系统。