详细说明
铝合金锯片采用磁控反应溅射法制备了不同调制周期的CrAIN／TiAIN纳米多层膜，并通过x射线衍射仪、显微硬度计、扫描电镜分析了调制周期对多层膜的微结构、力学性能和高温抗氧化性能的影响。结果表明:CrAIN／TiAIN纳米多层膜共格外延生长，切铝锯片呈现CrAIN（或TiAIN）面心立方结构，且呈（111）择优取向；CrAIN／TiAIN纳米多层膜在某些调制周期出现硬度异常升高的超硬度效应；CrAIN／TiAIN纳米多层膜比CrAIN,TiAIN单层膜具有更好的高温稳定性，高温时仍具有较高的硬度。来源: