选型需注意的问题:

　　1、的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的罗茨真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

　　2、正确的选择的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如:扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但期工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

　　3、罗茨真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

　　4、正确地组合罗茨真空泵。由于罗茨真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足缺氧要求。有的罗茨真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的罗茨真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，帮都需要把泵组合起来使用。

　　5、真空设备对油污的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，也能达到清洁真空要求。

　　6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择罗茨真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管道上安装铺助设备，如冷凝器、除尘器等。

　　7、罗茨真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油罗茨真空泵，或者把油蒸气排到室外。

　　8、工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

　　9、的价格、运转及维修费用等。