详细说明
DN3、DN8小流量气体传感器
一、FSG4000系列小流量气体传感器
产品概述:
FSG4000系列小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器采用自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径,成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量传感器。
产品特点:
1、传感器灵敏度高,有极小的始动流量
2、传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量
3、在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高;
4、传感器的零点稳定度高
5、全量程高稳定性
6、全量程高精确度和优良的重复性
7、低功耗
8、低压损
9、响应时间快
性能参数:
型号 | FSG4003 | FSG4008 | 单位 |
通径 | 3 | 8 | mm |
最大流量 | 1,2,5 | 10,20 | SLPM |
量程比 | >100:1 |
精度 | ±(4%±1%FS) |
重复性 | ±2% |
零点输出漂移 | ±30 | mV |
输出漂移 | 0.2 | %/℃ |
响应时间 | 100 | ms |
工作电源 | 8~18Vdc,50mA |
输出方式 | 线性,模拟0.5~4.5Vdc |
最大流量压损 | 100 | 500 | Pa |
最大工作压力 | 0.4 | MPa |
工作温度 | -5~+55 | ℃ |
储存温度 | -20~+65 | ℃ |
工作湿度 | | %RH |
机械接口 | 可拆式软管接头 | NPT1/4 | |
校准方式 | 空气(或其他气体),20℃,101.325kPa |
重量 | 15 | 23 | g |
注:流量单位表示为SCCM(每分钟标准毫升)或SLM(每分钟标准升)。
二、FS4000系列小流量气体流量传感器
产品概述:
FS4000系列微小流量气体质量流量传感器是采用世界领先的微机电系统(MEMS)流量传感技术和智能电子控制技术,专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量,压损低。适用于净化空气或氮气流量监控,还可用于环保监测仪器,如空气采样和分析仪器9GC频谱仪。
FS4003流量传感器,管道内径为3mm,成本低,压损小,测量范围最大到5SLMP,适用于粒子计数器和分析仪器等。
FS4008流量传感器,测量范围最大到50SLPM,可用于气流测量和控制设备。应用于麻醉设备、洁净气体监控,如:空气采样机,气体分析仪等。
产品特点:
1、专为管径为3mm-8mm的固定气道中的低压气体流量测量而设计
2、卡口式设计为多管路集成测量而设计
3、快速地响应时间利于精密测量应用
4、在麻醉机上表现卓越
5、可变机械连接方式可轻松安装于不同的应用环境中
6、内置安全插件可适用于更多的应用
性能参数:
| FS4003 | FS4008 | 单位 |
通径 | 3 | 8 | mm |
最大流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
量程比 | >100:1 |
精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % |
重复性 | ±0.75 | % |
最大压力 | 1.0 | MPa |
工作温度 | -10 ~ 55 | ℃ |
湿度 | | %HR |
电源 | 8-24Vdc, 50mA |
输出方式 | RS232, I2C, 模拟 |
机械接口 | NPT, BSPT 或根据需要定制 |
校准条件 | 空气, 20℃, 101.325 kPa |
注:质量流量单位表示为SCCM(每分钟标准毫升)或SLM(每分钟标准升)。
三、开箱及检查
1、包装应完好无损;
2、开箱时若发现本产品有损坏或零部件脱落松动,请及时通知本公司;
3、装箱内容:(1)产品1台;(2)使用说明书一份。
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