超低温冷冻机 Water Vapor Cryopump

　　主要生产:快速循环水汽深冷泵(polycold)、超低温捕集泵、超低温冷阱、-100℃超低温冷冻机、Parylene真空涂敷冷阱、超低温冷凝排气机、-145℃水汽捕集器、深冷设备、-60℃、-86℃、-120℃、-150℃系列超低温冰箱、-150℃金属深冷处理箱、超低温液浴、-120℃至-140℃超低温制冷机组、-120℃至-170℃超低温热沉试验机组。

　　公司长期为各大真空镀膜机厂商、光电子、太阳能集热管、中国火箭研究院、中国航空航天研究院、医疗卫生、军事航空、生物制药、化工、远洋渔业、高校电子、金属加工、国家863计划环境监测等项目提供-120℃至-170℃超低温试验设备。

　　产品被广泛应用于真空镀膜、表面处理、光电子、航空航天、石英晶体、太阳能集热管、科研院所、生物制药、化工、电子工业、金属加工等行业。

　　本公司研发生产的-145℃深冷水汽冷冻机，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产，替代液氮，节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点，其性能指标在处于领先地位，达到甚至超过国际先进水平。比进口POLYCOLD节能20%，比国内同类产品节能40%以上。

　　应用原理:

　　在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响,超低温捕集泵则是解决问题的上佳选择。

　　水汽捕集泵的工作原理:将一个能到-130℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60%—90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级，达到10-8Torr、10-5Pa)。

　　实际应用:

　　主要适用于物理(化学)气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备,光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。可以在真空室内抽吸水汽，也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。

　　1、水汽捕集器:

　　它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。

　　2、超低温冷阱:

　　放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。

　　根据需要,二者可以分别安装或者同时安装。

　　主要性能特点:

　　1．快速吸附水、油蒸汽、可缩短抽气时间60%-90%

　　2. 提高你现有真空系统的生产能力20%到100%

　　3. 改善镀膜的质量，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。

　　2．降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，最低可到-150℃。

　　3. 2分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温。

　　4．一台设备可设计两路负载输出。

　　5．进口压缩机，环保混合型制冷剂。

　　6．具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示。

　　7．当待机温度到达后有指示灯提示，可以开始制冷。

　　8．压缩机排气过高、压力过高保护。

　　主要技术参数:

　　型   号:TH-135-10P

　　压缩机功率:8.5KW

　　工作温度:-120℃至-145℃

　　抽气速度:101000L/s

　　制 冷 量:1800W

　　冷凝管面积:0.7m2

　　冷凝管长度:14m直径16mm

　　预冷时间:小于等于30min

　　降温时间:小于等于3min

　　除霜时间:小于等于3min

　　再降温时间:小于等于5min

　　适用油扩散泵径:小于等于1000mm

　　冷却方式:水冷(t≤30度)

　　型   号:TH-135-15P

　　压缩机功率:12.3KW

　　工作温度:-120℃至-145℃

　　抽气速度:250000L/s

　　制 冷 量:3500W

　　冷凝管面积:2.0m2

　　冷凝管长度:40m直径16mm

　　预冷时间:小于等于40min

　　降温时间:小于等于5min

　　除霜时间:小于等于3min

　　再降温时间:小于等于6min

　　适用油扩散泵径:双路输出

　　冷却方式:水冷(t≤30度)