浙江万级净化工程专业设计团队

　　无残留挥发性清洁剂开发

　　新一代无尘车间清洁剂采用氢氟醚（HFE）作为溶剂，其ODP（臭氧破坏潜能）为零，在常温下即可完全挥发。气相色谱检测显示，其挥发残留＜0.01mg/m³，远低于传统氟利昂类溶剂的50mg/m³。某航天实验室使用证明，该清洁剂对精密陀螺仪的清洁合格率达100%，且不会影响润滑剂性能。

　　（三）门窗安装 安装特制的气密门窗，确保无尘车间的气密性良好，外界污染物进入。 （四）通风管道与过滤器安装

　　安装通风管道和过滤器，确保空气流通顺畅，净化系统运行正常。此步骤需注意系统的密封性，避免外界污染物进入。

　　（五）照明与电力系统安装安装防尘防爆灯具，以及必要的电力线路和插座，确保无尘车间内有的照明和电力供应。电气布线时要采用低烟无卤电线电缆等具有良好阻燃性能的线缆，保障人员。

　　2 施工与维护无尘车间的施工需要精细操作，确保缝隙密封良好，避免灰尘积聚。此外，定期的维护与清洁也重要，包括更换过滤器、检查气流状况、以及进行必要的处理。 无尘车间因其的环境控制能力，在多个行业中发挥着重要作用: 3.1 半导体制造业

　　半导体芯片的制造过程中，即使是微小的颗粒也会导致电路短路或性能下降。因此，无尘车间在此领域的应用为重要，以确保芯片生产的高品质。

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　　多参数–空气洁净度、细菌浓度以及空气的风量、压力、噪声、照度。保湿性能好:无尘车间强度高，隔热保温，可作天花围护布板材承重，抗弯抗压，通常洁净室比拟少用梁柱。

　　三、洁净性能好:

　　不会吸附尘埃，十分适用于净化车间墙体，，而且GMP无尘车间能达到一定的洁净度级别还不够，具有控制微粒污染、抵抗外界干扰的能力，体现在有一个合理的满足实用的自净时间。

　　原则:无尘车间里存在大量可以节约能源（解释:向自然界提供能量转化的物质)的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能（maybe)地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率（efficiency)的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低（reduce)和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。