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　　无尘车间设备专用清洁剂

　　洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。

　　无尘车间等级划分:1级≥百级级≥千级级≥万级≥十万级≥百万级越排在前面，级别越高，1级是级别更高的。常见的是百级到十万级。

　　1级 这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业，对集成电路的要求为亚微米。

　　10级 这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。

　　100级很多人认为，这一级无尘车间是常用因而是重要的无尘车间，这一洁净室大量应用于，植如体内物品的制造，外科手术，包括移植手术，集成器的制造，那些对细菌敏感的病人的隔离治疗，比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。

　　动线规划要点:要检讨分析(Analyse)人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以交叉污染。作业者、化学品、材料等动线勿集中；无尘车间四周，宜设缓冲区；制造装置的出入，不要对作业产生大影响。3、有些空气净化系统的空气，如经处理仍不能避免交叉污染时，则不能循环（continue)使用:固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序；用有机溶媒精制的原料精制、干燥工序；放射性品生产区；病原体操作区；工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序；固体口服制剂的颗料

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　　合理设计:无尘车间的设计要合理,既要满足生产工艺的要求,又要符合和的原则。同时,要考虑到车间的布、运输、人员流动等因素。选择合适的设备:对于无尘车间所需的设备,要选择性能稳定、易于维护且符合要求的。此外,还要考虑到设备的成本和更换周期。4. 人员培训和管理:由于无尘车间的环境,需要对员工进行专门的培训,确保他们了解如何在无尘环境下进行操作和管理。同时,要有完善的管理制度来车间的清洁度。

　　无尘车间的墙面需要使用防静电材料，以避免静电的产生。墙面材料应该具有防尘、防腐、防水等特性，同时还需要考虑墙面的平整度和美观度。 4. 照明系统

　　无尘车间的照明系统需要使用防爆、防静电的灯具，以避免灰尘、细菌等污染物的进入。照明系统的设计需要考虑照明强度、照明均匀度、照明角度等因素。

　　温湿度控制系统无尘车间需要安装恒温恒湿控制系统，以保持车间内的温湿度稳定。温湿度控制系统的设计需要考虑控制精度、控制范围、控制方式等因素。