南京万级净化工程专业装修设计

　　无尘车间设备专用清洁剂

　　洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。

　　在无尘净化车间里面吸尘的时候要用带有过滤器(作用:过滤杂质等)的真空吸尘器;6、的门都要检查并擦干净

　　7、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面;

　　8、架空地板下面也需要吸尘和"擦拭(cleanse)

　　9、90天擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱;

　　10、清洁时记住，什么时候都是从上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。

　　下面，我们通过一组无尘车间现场照片认识无尘车间。洁净车间洁净程度和控制污染的持续稳定性，是检验洁净室质量的重要标准。此标准会根据区域环境、净化程度等因素，分为若干等级，常用的有标准和国内区域行业标准。内部净化级别可达100到10万级。车间内部对洁净度要求高的区域，如流水线作业区的高度产品组装区通常都是无尘车间。 无尘车间，一般用工业铝材如不锈钢方通、喷塑方通等材料做框架，采用风机滤网机组FFU送风，四周采用防静电垂帘，顶部铺盖密缝盲板，形成一个密缝区。

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　　为了尽量减少操作中人员活动造成的污染，人员在进入无尘区前需要更换无尘服，洗手、、淋浴。这些措施是；人员净化。人员净化室更换无尘服装的房间应送风，侧等房间应保持正压，卫生间、淋浴应保持少量正压，卫生间、淋浴应保持负压。物料净化道路各种物品在送入无尘区域前经过净化处理，简称物理净化。物料净化道路应与人工净化道路分开。如果物料和人员只能在同一个地方进入无尘车间，也有必要分开进入，物料应先经过粗净化处理。在生产线不强的情况下，可以在物料道路中心设置中心仓库。如果生产线很强，则选择直通物料道路，有时需要在直通道路中心设置反复净化和传输设备。在系统规划中，物理净化室的粗净化和精净化阶段会吹掉大量的生颗粒，因此相对无尘区应坚持负压或零压。如果污染风险较大，方向也应坚持负压。

　　8）回风方式:10万级无尘室主要采用的回风方式主要有:

　　1、单侧墙下部布置回风口；

　　2、当采用过道回风时，在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。

　　9）风口风速:

　　送风口风速米/秒:

　　1、孔板孔口3~5；

　　2、侧送风口:

　　（1）贴附射流2~5；