河南百级净化车间专业设计施工团队

　　无尘车间清洁剂的技术标准

　　无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准，其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底，搭配非离子表面活性剂，确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证，金属离子含量控制在ppb级（如钠、钾离子＜1ppb）。实验数据显示，优质无尘车间清洁剂的残留量＜0.1μg/cm²，远低于普通清洁剂的50μg/cm²，可有效维持Class 100洁净环境。

　　无尘洁净车间，也被称为洁净厂房、洁净室(Clean Room）、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力等进行有效控制，以满足特定生产工艺要求的空间环境无尘洁净车间的等级主要分为十万级、万级、千级、百级、十级。数字越小，洁净等级越高

　　例如，百级的洁净室净化工程主要用于带宽小于2微米的半导体生产

　　十万级无尘室的标淮是指:1）尘埃粒子高允许数（每立方米）:

　　大或等于0.5微米的粒子数不能超出3500000个，大或等于5微米的粒子数不能超出20000个；

　　2）微生物高允许数:

　　浮游菌数不能超出500个每立方米；沉降菌数不能超出10个每培养皿。

　　相同洁净度等级的洁净车间压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净车间之间压差要≥5Pa，洁净车间与非洁净车间之间要≥10Pa。

　　河南百级净化车间专业设计施工团队

　　洁净厂房设计规范一、洁净厂房的定义 也叫无尘车间、洁净室(Clean Room）、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、灰尘等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。《洁净厂房设计规范》   GB50073-2013；《洁净室施工及验收规范》   GB50591-2010； 《工业洁净厂房设计规范》  GB50457-2008；

　　6）噪声控制:一、动态检测时，万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。

　　二、静态检测时，万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。

　　7）送风方式:

　　气流组织10万级无尘室主要采用的送风方式有以下三种:

　　1、部孔板顶棚送风；

　　2、带扩散板空气过滤器顶棚送风；

　　3、上侧墙送风 等三种送风方式。