湖南线路板净化工程专业装修施工团队

　　无尘车间设备专用清洁剂

　　洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。

　　8）回风方式:10万级无尘室主要采用的回风方式主要有:

　　1、单侧墙下部布置回风口；

　　2、当采用过道回风时，在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。

　　9）风口风速:

　　送风口风速米/秒:

　　1、孔板孔口3~5；

　　2、侧送风口:

　　（1）贴附射流2~5；

　　4）温度、湿度:10万级无尘室对溫度、湿度无要求时，以穿着洁净服不产生舒适感为宜，温度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波动±2℃。秋冬季洁净车间空气湿度控制在30-50%，春夏季洁净车间空气湿度控制在50-70%。

　　洁净室（区）的主要生产用地一般照度值宜≥300Lx；辅助工作室、人员洁净和物料洁净用室、气闸室、过道等的照度值宜为200~300Lx。

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　　6）噪声控制:一、动态检测时，万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。

　　二、静态检测时，万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。

　　7）送风方式:

　　气流组织10万级无尘室主要采用的送风方式有以下三种:

　　1、部孔板顶棚送风；

　　2、带扩散板空气过滤器顶棚送风；

　　3、上侧墙送风 等三种送风方式。

　　为了尽量减少操作中人员活动造成的污染，人员在进入无尘区前需要更换无尘服，洗手、、淋浴。这些措施是；人员净化。人员净化室更换无尘服装的房间应送风，侧等房间应保持正压，卫生间、淋浴应保持少量正压，卫生间、淋浴应保持负压。物料净化道路各种物品在送入无尘区域前经过净化处理，简称物理净化。物料净化道路应与人工净化道路分开。如果物料和人员只能在同一个地方进入无尘车间，也有必要分开进入，物料应先经过粗净化处理。在生产线不强的情况下，可以在物料道路中心设置中心仓库。如果生产线很强，则选择直通物料道路，有时需要在直通道路中心设置反复净化和传输设备。在系统规划中，物理净化室的粗净化和精净化阶段会吹掉大量的生颗粒，因此相对无尘区应坚持负压或零压。如果污染风险较大，方向也应坚持负压。