浙江医院洁净车间18年专业团队

　　无尘车间设备专用清洁剂

　　洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。

　　清洁无尘净化车间里面的墙壁时要使用无尘净化车间无尘布;使用已获批准的无尘车间去污剂，也可以自己配置(deploy)用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂;2、清洁无尘净化车间的地面时要使用拖把;

　　3、每天巡查车间和整备间的垃圾箱，需及时把垃圾清走;

　　4、每块地板都要吸尘。每次交接班的时候，应在地图上标注工作完成的情况，例如 哪结束从哪开始;

　　安装通风管道通风管道要根据车间的大小来选择，材料要选择渡锌板制作，在剪裁要做到严丝合缝，要确保材料无孔洞，经久耐用。

　　地面施工重要，无尘车间地面一般是环氧自流坪和塑料PVC地板。因为这两种材料不容易起灰尘，而且防静电。

　　1、尘粒的大允许数量

　　2、0.5微米以上的粒子数不得超过350000个，5微米以上的粒子数不得超过2000个

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　　无尘车间技术（什么是无尘车间）通过无尘车间技术方面的各种设施和严格管理，使室内微粒子含量、气流、压力等也控制在一定范围内，这种房间空间称洁净室。

　　二、无尘车间技术的运用

　　1 微电子工业

　　微电子工业是当前对洁净室要求更高工业洁净业。此外，如现代工业中的液晶、光纤等的生产，同样均有洁净度的要求。

　　（1）品生产我国的《品生产管理规范》（又称GMP）已在全国范围内实施，对生产环境提出了相应于工艺过程的不同洁净级别要求。除了限定空气中尘埃粒子的大小和含量外，对生物粒子（细菌数）也有明确的限制。

　　安装基准线确定:使用激光水准仪建立三维坐标系，门框安装垂直度偏差≤1/1000。某净化工程公司的施工规范要求，地槽预埋件水平度误差需控制在±0.5mm/10m范围内。2、接缝处理:采用医用级硅酮密封胶施胶，胶缝宽度严格控制在6±0.5mm，施胶后需用等离子处理表面。实验室检测显示，这种工艺能使接缝处的微粒渗透率降低至0.001个/(cm2·min)。 3、表面处理:外露金属件需经过电解抛光，表面光洁度达到#8级标准。某项目验收时使用电子显微镜检测，显示表面残留微粒数≤5个/100cm2。