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　　无尘车间设备专用清洁剂

　　洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。

　　风口风速:送风口风速米/秒:(1)孔板孔口3~5；(2)侧送风口:①贴附射流2~5；②非贴附射流同侧墙下部回风1.5~2.5，对侧墙下部回风1.0~1.5。压差:相同洁净度级别的洁净车间之间的压差应一致，不同洁净度级别的相邻洁净车间之间的压差应5Pa，洁净车间与非洁净车间之间的压差应10Pa。7、噪声控制:(1)动态检测时，万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。(2)静态检测时，万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。

　　无尘车间等级分类:无尘车间等级分类按照其洁净度等级划分，不同的等级对应着不同的应用场景，包括: 一级:主要用于微电子工业，生产集成电路等产品，对精度要求高，需要达到亚微米级别。 十级:用于加工宽度小于2微米的半导体工业产品。

　　百级:常被认为是常用且重要的等级，一般用于医工业的无菌制造，是外科手术和骨髓移植病人术后的隔离治疗等。

　　千级:用于生产高质量的光学产品。万级:用于液压设备或积压设备的装配，以及食品、饮料、医疗等行业的生产。 十万级:适用于光学产品和元器件的制造，以及食品、饮料和医疗行业的生产。

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　　密封系统:采用三元乙丙橡胶(EPDM)复合密封条，在-40℃至120℃环境下保持弹性。门扇四周设置三级密封:主密封条压缩量≥30%，辅助密封条采用磁性密封结构，底部配备自动升降式扫地密封。某生物实验室的测试报告显示，这种配置可实现≥99.99%的0.3μm颗粒过滤效率。二、结构设计的精密计算 1、压力平衡设计:根据ASHRAE标准进流模拟计算，门扇需承受50Pa正负压差不变形。某项目采用有限元分析显示，当门扇尺寸达到2100×3000mm时，需在内部设置井字形加强筋，大挠度控制在L/1000以内。

　　无尘车间是指将工厂车间空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一标准范围内。无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室。无尘车间对身体有害吗?在无尘车间会得病吗?因为无尘车间里面的空气是经过多重净化(一般经初效过滤网+中效过滤网+过滤器三级过滤)的空气，空气是比较洁净的，一般来说是相对的。 无尘车间对人体的可能产生的“危害”有以下几个方面: 1.可能缺氧, 某些工厂为了提高工效，在无尘车间里安排了太多的人员和岗位，每个人可以呼吸到的新鲜空气就不够，人就会感到不舒服，严重的甚至会胸闷、头痛。因为无尘车间是一个封闭的空间,只靠空调机组按一定风量送入新鲜空气，所以无尘车间可容纳的人数是有限制的，如果超出这个人数限制，可能造成氧气不够用的状况，长期在缺氧状态下工作，可能造员感觉不适甚至头晕。但只要严格控制进入人数,就可以人员。