广西万级净化车间18年专业团队

　　无尘车间清洁剂的技术标准

　　无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准，其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底，搭配非离子表面活性剂，确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证，金属离子含量控制在ppb级（如钠、钾离子＜1ppb）。实验数据显示，优质无尘车间清洁剂的残留量＜0.1μg/cm²，远低于普通清洁剂的50μg/cm²，可有效维持Class 100洁净环境。

　　地板:包括高架地板、EPOXY环氧树脂防静电地坪或防静电PVC地板。(5)照明器具:包括双管净化灯、日光灯、应急灯、出口灯、指示灯等。

　　(6)各类传递窗、风淋室、货淋室等净化设备安装工程；

　　(7)各类空调、恒温恒溼机、小型空调机组等安装工程；

　　无尘车间的结构组成说明:

　　1.无尘净化车间是由空气净化系统组成，形成了无尘车间的空气净化。主要控制无尘车间内空气灰尘微粒数，和细菌污染等。

　　无尘洁净车间，也被称为洁净厂房、洁净室(Clean Room）、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力等进行有效控制，以满足特定生产工艺要求的空间环境无尘洁净车间的等级主要分为十万级、万级、千级、百级、十级。数字越小，洁净等级越高

　　例如，百级的洁净室净化工程主要用于带宽小于2微米的半导体生产

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　　无尘车间技术（什么是无尘车间）通过无尘车间技术方面的各种设施和严格管理，使室内微粒子含量、气流、压力等也控制在一定范围内，这种房间空间称洁净室。

　　二、无尘车间技术的运用

　　1 微电子工业

　　微电子工业是当前对洁净室要求更高工业洁净业。此外，如现代工业中的液晶、光纤等的生产，同样均有洁净度的要求。

　　（1）品生产我国的《品生产管理规范》（又称GMP）已在全国范围内实施，对生产环境提出了相应于工艺过程的不同洁净级别要求。除了限定空气中尘埃粒子的大小和含量外，对生物粒子（细菌数）也有明确的限制。

　　Class X (at Y μm )，At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如:Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built

　　Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built