云浮医院净化工程专业装修设计

　　无尘车间清洁剂的技术标准

　　无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准，其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底，搭配非离子表面活性剂，确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证，金属离子含量控制在ppb级（如钠、钾离子＜1ppb）。实验数据显示，优质无尘车间清洁剂的残留量＜0.1μg/cm²，远低于普通清洁剂的50μg/cm²，可有效维持Class 100洁净环境。

　　开启机构:平移门采用磁悬浮轨道系统，运行噪音≤45dB，启闭速度可调范围0.3-1.2m/s。某晶圆厂实测数据表明，配备伺服电机的门体定位精度可达±0.5mm，重复定位误差不超过0.2mm。3、互锁系统:采用PLC控制的双门互锁装置，切换延迟时间可设置在5-30秒可调。某GMP车间案例中，系统集成压差传感器，当检测到压差异常时自动触发声光报警并锁定门体。 三、施工工艺的纳米级控制

　　（三）门窗安装 安装特制的气密门窗，确保无尘车间的气密性良好，外界污染物进入。 （四）通风管道与过滤器安装

　　安装通风管道和过滤器，确保空气流通顺畅，净化系统运行正常。此步骤需注意系统的密封性，避免外界污染物进入。

　　（五）照明与电力系统安装安装防尘防爆灯具，以及必要的电力线路和插座，确保无尘车间内有的照明和电力供应。电气布线时要采用低烟无卤电线电缆等具有良好阻燃性能的线缆，保障人员。

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　　GERMANYVDI 2083

　　JAPANJAOA(1989)100,000353,000

　　400,000

　　1,000,000

　　3,530,000

　　100,000 4,000,000

　　10,000,000

　　无尘车间（洁净室）等级说明

　　首先是等级定义的模式如下:

　　8）回风方式:10万级无尘室主要采用的回风方式主要有:

　　1、单侧墙下部布置回风口；

　　2、当采用过道回风时，在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。

　　9）风口风速:

　　送风口风速米/秒:

　　1、孔板孔口3~5；

　　2、侧送风口:

　　（1）贴附射流2~5；