云南百级洁净车间专业设计团队

　　无尘车间清洁剂的技术标准

　　无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准，其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底，搭配非离子表面活性剂，确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证，金属离子含量控制在ppb级（如钠、钾离子＜1ppb）。实验数据显示，优质无尘车间清洁剂的残留量＜0.1μg/cm²，远低于普通清洁剂的50μg/cm²，可有效维持Class 100洁净环境。

　　无尘车间又称无尘室，洁净车间，净化车间，洁净室等。百级无尘车间是根据中华人民共和国国家标准GBJ73—84，《洁净厂房设计规范》（下面简称《规范》）明确规定了空气洁净度的四个等级（洁净度即指洁净环境中空气含尘粒多少的程度），并 ... 了相应表格以示划分之标准:

　　这是依据美国联邦标准209E中洁净室等级标准换算出来的，每一等级都对每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量有严格的规定。《规范》还详加注明:“对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数，应进行多次采样，当其多次出现时，方可认为该测试数值是的。”

　　原则:无尘车间里存在大量可以节约能源（解释:向自然界提供能量转化的物质)的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能（maybe)地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率（efficiency)的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低（reduce)和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。

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　　无尘车间，又称为洁净室，是控制粒子污染和温度湿度等环境条件的一种密封式洁净空间。在半导体制造、医生产、食品加工等行业中，无尘车间发挥着的作用。那么，怎样才能达到真正的“无尘”呢？本文将详细解析无尘车间的相关知识，并探讨千级和百级无尘车间的区别。

　　一、如何达到真正“无尘”?

　　空气过滤是无尘车间的重要组成部分。根据需要达到的洁净度等级，选择合适的风机和空气过滤装置。通常，无尘车间采用初中三级过滤系统。初级过滤器主要用于过滤较大的灰尘颗粒，如5.0μm以上的粒子；中级过滤器可过滤1.0μm以上的粒子；过滤器则能有效过滤0.3μm以下的微小粒子。2.洁净室设计 洁净室的设计包括气流组织、室内布、墙壁地面等。合理的气流组织可以洁净室内空气的均匀分布，降低污染物的浓度。一般采用乱流或联流方式进流组织。乱流方式气流速度较高，但适用于洁净度要求不高的场合；层流方式气流速度较低，但能有效控制粒子污染，适用于高洁净度要求的环境。

　　材料选择的致标准1、型材系统:采用航空级铝合金型材，经过阳氧化处理形成致密氧化膜，表面粗糙度需控制在Ra≤0.2μm。型材空腔设计采用多腔体结构，内置隔断形成气密屏障，同时填充高分子吸音材料以降低振动传导。某净化工程案例中，型材接缝处采用激光焊接技术，焊缝平整度误差不超过0.05mm。 2、玻璃配置:使用双层钢化Low-E玻璃，中间充填氩气层，传热系数≤1.5W/(㎡·K)。玻璃边缘需进行三边磨边处理，倒角精度要求±0.1mm，微颗粒积聚。某芯片工厂实测数据显示，采用12mm+12mm真空玻璃组合时，室内外压差50Pa条件下的空气泄漏量仅为0.01m3/(h·m)。