银川仟级净化工程专业设计施工团队

　　无尘车间清洁剂的技术标准

　　无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准，其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底，搭配非离子表面活性剂，确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证，金属离子含量控制在ppb级（如钠、钾离子＜1ppb）。实验数据显示，优质无尘车间清洁剂的残留量＜0.1μg/cm²，远低于普通清洁剂的50μg/cm²，可有效维持Class 100洁净环境。

　　洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。洁净度和控制污染的持续稳定性，是检验无尘车间质量的核心标准，该标准根据区域环境、洁净程度等因素，分为若干等级，常用的有标准和国内区域行业标准。 ISO14644-1标准—空气洁净度等级划分 空气洁净度等级(N)大于或等于所标粒径的粒子大浓度限值（空气粒子数个/立方米）ISO Class1 ISO Class2 ISO Class3

　　微生物的大允许数量4、浮游菌数不得超过每立方米100个

　　5、沈隆菌数每培养皿不得超过3个

　　6、压差:相同洁净度等级的洁净室压差一定，不同洁净度等级的相邻洁净室之间的压差超过5Pa，洁净室与非洁净室之间超过10Pa。1万级洁净室对温度、湿度没有要求的情况下，好穿着干净的工作服，不要有舒适感，温度通常为冬季的20-22;夏天:24-26;波动2。洁净室的湿度冬季控制在30-50%，夏季控制在50-70%。

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　　8）回风方式:10万级无尘室主要采用的回风方式主要有:

　　1、单侧墙下部布置回风口；

　　2、当采用过道回风时，在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。

　　9）风口风速:

　　送风口风速米/秒:

　　1、孔板孔口3~5；

　　2、侧送风口:

　　（1）贴附射流2~5；

　　Class X (at Y μm )，At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如:Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built

　　Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built