大连十万级无尘室车间专业设计团队

　　无尘车间设备专用清洁剂

　　洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。

　　无尘车间，又称为洁净室，是控制粒子污染和温度湿度等环境条件的一种密封式洁净空间。在半导体制造、医生产、食品加工等行业中，无尘车间发挥着的作用。那么，怎样才能达到真正的“无尘”呢？本文将详细解析无尘车间的相关知识，并探讨千级和百级无尘车间的区别。

　　一、如何达到真正“无尘”?

　　空气过滤是无尘车间的重要组成部分。根据需要达到的洁净度等级，选择合适的风机和空气过滤装置。通常，无尘车间采用初中三级过滤系统。初级过滤器主要用于过滤较大的灰尘颗粒，如5.0μm以上的粒子；中级过滤器可过滤1.0μm以上的粒子；过滤器则能有效过滤0.3μm以下的微小粒子。2.洁净室设计 洁净室的设计包括气流组织、室内布、墙壁地面等。合理的气流组织可以洁净室内空气的均匀分布，降低污染物的浓度。一般采用乱流或联流方式进流组织。乱流方式气流速度较高，但适用于洁净度要求不高的场合；层流方式气流速度较低，但能有效控制粒子污染，适用于高洁净度要求的环境。

　　8）回风方式:10万级无尘室主要采用的回风方式主要有:

　　1、单侧墙下部布置回风口；

　　2、当采用过道回风时，在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。

　　9）风口风速:

　　送风口风速米/秒:

　　1、孔板孔口3~5；

　　2、侧送风口:

　　（1）贴附射流2~5；

　　大连十万级无尘室车间专业设计团队

　　7、配电:洁净室主要生产用房的一般照度值应大于300Lx;辅助工作室、人员净化和材料净化用室、气闸室、走廊等的照度值优选为200-300Lx。8、噪声控制:动态测试时，万级洁净室中的噪声级不得超过70分贝a;静态测试时，万级湍流洁净室的噪声水平不得超过60分贝a。

　　无尘车间是现在流行（Prevalent)的一种生产(Produce)车间，现在各行各业，大部分的工厂里面都会打造这样的环境工程，不过无尘车间需要的成本也是不斐的，一个车间往往就需要几十万、甚至是几百万的价格去打造，后续的维护也需要大量的资金投入，到底为什么需要进行这样的付出，而这样的无尘间又到底有哪些作用呢？

　　无尘车间的洁净度检测和验收主要依据《GB50073-2013 洁净厂房设计规范》和《GB50591-2010 洁净室施工及验收规范》进行‌。检测包括静态、空态和动态三种状态，具体如下:‌静态‌:洁净室在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，没有生产人员或生产操作结束后的状态。‌动态‌:洁净室已处于正常生产状态，设备在指定的方式下进行，并且有指定的人员按照规范操作。‌空态‌:洁净室在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，但没有生产设备、原材料或人员的状态‌。