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　　开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低，将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据，空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%，因此对空调设备进行优化控制，选择合理温湿度设定值，对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展，更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进入亚纳米时代，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制，包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。

　　那么，在无菌车间中，实现空间的无菌要求是室内环境控制的关键。通常有两种方法来控制微生物的生长，杀死或去除微生物，一种是化学的，另一种是物理的。其中，化学方法包括化学剂、汽化过氧化氢、臭氧和环氧乙烷;物理方法包括湿热灭菌或干热灭菌、辐射灭菌和过滤灭菌。

　　十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。

　　无尘车间对温湿度的控制决取于其生产工艺。在满足加工工艺的条件下，还应该考虑（consider)到人的舒适感。因为人出汗以后，对产品将有污染，是怕钠(Sodium)的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故，相对湿度在50%时易生锈。下面我们来看常见无尘车间对温湿度有要求的工艺。