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　　由于每种工艺制程设备的发热量大不相同，导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间)，因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC，在建筑已经确定的情况下，制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许，好是将不同制程的区域隔开，这样既可避免金属粒子污染，又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下， 洁净室的温湿度控制在22±2℃，45±5%RH，MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃，在与循环风混合后，FFU

　　所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造的要素。

　　洁净车间(洁净室)是一个企业的核心，是空气达到一定级别的可供人活动或生产工作的空间，其功能室控制微粒子和微生物的污染。洁净室的洁净不是一般的干净，而是达到了一定空气洁净度级别。洁净车间(洁净室)按照用途分类分为工业洁净室和生物洁净室，按气流形式分类分为单项流洁净室、非单项流洁净室、混合流洁净室、辐（矢）流洁净室等。

　　新风空调箱送风温度设定值的选取是比较关键的，它能够佳适应当前洁净室内温度的需求。如果给定太高的温度，进入洁净室和循环风混合后，DCC就需要更大量的冷量进行冷却，这就直接导致能源的浪费;如果给定太低的温度，进入洁净室和循环风混合后，即使DCC的开度为零，整个洁净室的温度却仍然太低，这将使得整个洁净室的温度超标。因此，对于MAU新风送风温度设定值的选取是十分重要的，在确保系统在控制范围内并尽可能达到的目的。在此，我们引入模糊控制的思想，通过对洁净室温度偏差及偏差变化率的模糊规则变换，得出新风空调箱送风温度设定值SP。整个程序运行的流程如图7