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　　目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。温湿度控制系统实现基本上， 现在洁净室温湿度要求为22±2℃，45±5%RH，当然根据生产工艺的需求，对温湿度的要求也不尽相同。新风空调箱的温湿度控制新风空调箱基本结构新风空调箱基本结构如图3 所示，其处理流程如下:空气过滤———包括初效、中效、三部分;温度处理———包括预热盘管、一次表冷盘管、再热盘管三部分;

　　初，确实认为这种单向平行的气流应该充满整个洁净室，但这在技术上和经济上都是不利的。随着认识的发展，人们又指出这种单向流只是“在有限的领域内空气沿平行流线以匀速流动的意思”，并认为能力抑制涡流的发生。全空间的清洁空气的单向流特性占支配房间，也称为单向流洁净室。这就是说不要求在整个房间都具有单向平行的流线，均匀的速度，没有涡流，而是只要求单向平行流特性在这个房间中占支配。在整个工作区这一层空间了单向流，这个房间就是单向流洁净室。

　　十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。

　　无尘室吸尘器注意事项打开筒盖检查储尘袋是否扎紧，吸口处是否系牢，并盖好筒盖。普通型（非防爆类）机器严禁在易燃易爆场所使用，严禁吸收导体类或半导体类粉末。标识有干用的机器，严禁吸集液体。非材料滤袋，不可吸有燃着的火种及超高温废料。在没有集尘袋、尘隔的情况下严禁使用，否则将直接导致风机损坏。当集尘袋、尘隔发生破损情况下，应及时进行更换，不可继续使用。一般来说，纤维布料集尘袋能反复使用，直至破损要及时更换；白尘隔可清洗，一般使用寿命在一年；HEPA过滤网可以通过压缩空气疏通，平均寿命也在一年左右。