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　　关于过滤器，装置方向有必要正确:用波纹板组合过滤器在竖向装置时，波纹板有必要笔直于地上；过滤器在竖向与结构之间的连接，禁止渗漏、变形、破损和漏胶等，装置后有必要确保内壁清洁，无浮尘、油污、锈蚀及杂物等。替换过滤器要注意的疑问，替换前要整理风口箱体里面的杂物和其他的物质，装置时要直接接触过滤器的滤纸，损坏过滤器滤纸。过滤器在竖向与结构之间的连接，禁止渗漏、变形、破损和漏胶等，装置后有必要确保内壁清洁，无浮尘、油污、锈蚀及杂物等。

　　无尘车间净化工程最主要的作用在于控制产品所接触的空气的无尘度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大小划分标准的粒子数量来规定。

　　目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程，是含湿量保持不变的过程，即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，

　　随着科技的与日发展，生产制造业其对空气洁净度的要求主要是从产品加工的精密化、产品的微型化、产品的高纯度、产品的性四个方面提出来的。产品加工的日渐精密化。现代产品的加工精度已经进入到了亚微米量级，而且正在向着更小的量级发展。产品的日渐微型化。原来体积为几千立方厘米的电子装配件，现在缩减到了零点几立方厘米。产品的日渐高纯度。今天的各种超纯材料，都在高纯度基础上才能使原材料充分发挥其固有特性，或者呈现出新的特性。