深圳医院10万级净化车间专业车间施工团队

　　垂直单向流净化车间包括垂直单向流满布过滤器+格栅回风、垂直单向流满布孔板+格栅回风、垂直单向流满布阻尼层+格栅回风、垂直单向流两侧下回风+过滤器送风、垂直单向流两侧下回风+孔板送风、垂直单向流两侧下回风+阻尼层送风、垂直单向流+周边压出式回风+满布过滤器送风、无气幕部垂直单向流、有围挡壁的部垂直单向流。水平单向流净化车间包括水平单向流直回式、水平单向流隧道式、全侧墙回风式/全地面回风式/侧墙和地板组合回风式、水平单向流一侧回式、水平单向流双侧回式、水平单向流上回风式、水平单向流对送式。

　　净化车间压差值的选择应适当，选择过小，净化车间压差易被破坏，洁净度受到干扰；选择过大，HVAC系统新风量增大，负荷增加，过滤器寿命缩短。因此，净化车间压差值大小应合理确定（对一般净化车间为正压，生物学净化车间为负压）。净化车间压差是由送入新风量的大小来保持的，即:压差建立的基本原理是送风量大于回风量、排风量、漏风量之和，其中漏风量大小取决于建筑物围护结构的密封程度，如门缝、窗缝、壁板拼缝、各种管线接口等，这些将影响到漏风量的大小，使室内压差很难维持或不稳定。无论是风空气系统，还是循环空气系统，通过净化车间的送入风量与排风量和压差风量（余风量）之间达到平衡便建立了压差。

　　所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造的要素。没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。