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　　洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.

　　关于日常的,每天生产结束后,用75%乙醇或2‰新洁尔灭溶液擦拭机台、桌面、门窗、墙壁等.每3天生产结束后,用75%乙醇或2‰新洁尔灭溶液对洁净室内设施表面及顶棚、照明等表面进行擦拭, 3%~5%的来苏儿对地面进行,目的是杀死因生产过程中产生的细菌繁殖体,控制洁净室内微生物含量.这些措施仅能控制洁净室内空气中的细菌量及杂菌种类,如果霉菌较多,就要先用5%石碳酸quan面喷洒室内,然后用甲醛熏蒸才能达到无菌效果,而且只有这样才能杀死细菌、杂菌芽孢.每个生产周期结束,下个周期生产前对有无菌要求的洁净室行液,检测洁净室内尘埃粒子数符合规定后,再对洁净室内进行甲醛气体熏蒸,从长期检测的结果来看,这种环境灭菌方法效果很好.

　　根据测试和分析结果，运营商约占无尘车间污染源的80%。运营商进出无尘车间时无尘车间的污染源可分为外部污染源和内部污染源。外部污染源主要包括空调送风、缝隙渗透、建筑物、工作服、氮气、氧气、空气、供水、溶剂等一般气体；内部污染源包括生产设备、人员、工具、加工制造、车厢材料、工作台、包装材料等。无尘布生产商在使用无尘车间时，不仅要使用无尘布、无尘衣等无尘材料，还要加强对进出人员的管理，发挥无尘车间应有的作用。进出无尘车间物料的管理:

　　开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低，将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据，空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%，因此对空调设备进行优化控制，选择合理温湿度设定值，对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展，更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进入亚纳米时代，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制，包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。