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　　为了确保房间的洁净度，有必要避免外面污染气流进入室内，要到达这个意图，房间里有必要保持正压，为了取得所请求的房间压力，有必要补充恰当的新鲜空气。必要时还得安置一些辅佐设备:如新风口的空气指示仪，间隔上的传递窗等，这些设备有必要合适房间的请求，而且有必要真实了解其功用。人和物是洁净室的主要尘源，因而有必要充沛操控，例如:在进入净化房前，的人都要经过人净体系，替换无尘衣，而且要承受净化体系功用的基本教育。

　　无尘车间的净化工程是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把 空气中微粒子、有害空气、细菌等其他污染物排除室外，并将室内无尘度、温度、湿度、室内压力、气流的速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电的控制在某一需求范围内。

　　洁净车间空气净化系统的风流向,分别是水平层流,垂直层流和无序层流.选择应该根据实际的车间来进行选择；十万级洁净车间设计方案的确立,应该以对车间的工作性质等方面进行考虑，如果发尘量大车间，则不宜采用地面形式的送风方式，如果洁净度要求过高,则要远离其他的车间。十万级洁净车间工程设方案十万级洁净车间彩钢板结构和天花装修工程；十万级洁净车间净化通风空调工程；十万级洁净车间照明电气工程；

　　目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程，是含湿量保持不变的过程，即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，