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　　目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程，是含湿量保持不变的过程，即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，

　　无尘车间的净化工程是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把 空气中微粒子、有害空气、细菌等其他污染物排除室外，并将室内无尘度、温度、湿度、室内压力、气流的速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电的控制在某一需求范围内。

　　如今，为了产品的质量，很多行业都要求按照净化车间来从事生产活动，是食品、电子、精密机械、品和医疗器械等行业，净化车间是必备的，所以可以认为，世界高科技的发展与净化车间，洁净技术的发展是密不可分的。净化车间产品不受微粒和微生物的污染悬浮在空气中的微生大都依附在尘埃粒子表面，诺不去除空气中的微生物粒子和微粒，产品的质量就难。是对空气洁净度要求高的某些产品，如电子、品等。如果不除去空气中的微生物粒子和微粒，产品就会被污染，食品、品会变质，电子产品质量下降。

　　无尘布洁净车间厂家认为单向流动主要依靠洁净气流推动和置换室内和区内的污染空气，维持室内和区内的清洁。因此，其送风段的风速和均匀度是影响洁净度的重要参数。更高、更均匀的截面风速可以更快、更有效地处理室内过程中产生的污染物，因此是关注的主要检测项目。非单向流动主要是依靠送进来的洁净空气来稀释和冲淡室内和区域的污染物，以维持其洁净度。所以换气次数越多，气流组织越合理，稀释效果越明显，洁净度越高。因此，非单相流洁净室和洁净区的送风量和相应的换气次数是主要的气流测试项目。