银南化工净化设备专业车间施工团队

　　目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。温湿度控制系统实现基本上， 现在洁净室温湿度要求为22±2℃，45±5%RH，当然根据生产工艺的需求，对温湿度的要求也不尽相同。新风空调箱的温湿度控制新风空调箱基本结构新风空调箱基本结构如图3 所示，其处理流程如下:空气过滤———包括初效、中效、三部分;温度处理———包括预热盘管、一次表冷盘管、再热盘管三部分;

　　无尘室,CLEAN-ROOM.就是一个相对密闭的空间,并控制其中的洁净度(一个重要就是单位体积空气中的尘埃粒子数),当然有些时候对此环境中的温湿度,压差,照度,噪音等参数也是要控制的.所以,更科学完整的叫法应该叫"受控环境controled environment".一般通过围护结构组成一个相对密闭的空间,然后用洁净送风机组把经过多级过滤,并调节了温湿度的空气通过过送风管道送入此空间(通常在送风机箱内有初效中效两道过虑,末端有过滤),同时通过回风系统把空间内的空气抽送回洁净送风机组.当然还要混入一定的新风,否则不断封闭循环人会很闷甚至闷死.

　　十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。

　　参数时通常将积分时间设置为零，以系统过调节而产生振荡。洁净室温度主要由DCC 来调节， 但同时受新风送风温湿度的影响，如果给定太高的温度，进入洁净室和循环风混合后，DCC就需要更大量的冷量进行冷却，这就直接导致能源的浪费;如果给定太低的温度， 进入洁净室和循环风混合后， 即使DCC的开度为零，整个洁净室的温度却仍然太低，这将使得整个洁净室的温度超标。新风空调箱温湿度设定值控制