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　　每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。工业洁净车间管道布置的一般原则管路的布置类型一般有如下几种:埋地敷设管路；管沟敷设管路；沿地敷设管路；架空敷设管路。在管道布置设计时，首先要统一协调工艺和非工艺管的布置，然后按工艺流程并结合设备布置、土建情况等布置管道。

　　无尘车间的净化工程是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把 空气中微粒子、有害空气、细菌等其他污染物排除室外，并将室内无尘度、温度、湿度、室内压力、气流的速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电的控制在某一需求范围内。

　　新风空调箱送风温度设定值的选取是比较关键的，它能够佳适应当前洁净室内温度的需求。如果给定太高的温度，进入洁净室和循环风混合后，DCC就需要更大量的冷量进行冷却，这就直接导致能源的浪费;如果给定太低的温度，进入洁净室和循环风混合后，即使DCC的开度为零，整个洁净室的温度却仍然太低，这将使得整个洁净室的温度超标。因此，对于MAU新风送风温度设定值的选取是十分重要的，在确保系统在控制范围内并尽可能达到的目的。在此，我们引入模糊控制的思想，通过对洁净室温度偏差及偏差变化率的模糊规则变换，得出新风空调箱送风温度设定值SP。整个程序运行的流程如图7

　　水洗法利用虹吸以及离心原理，将混合于水的净化剂通过虹吸原理吸入其电机底座的同轴离心涡轮下部的吸管中，通过交流罩电机高速旋转，再利用离心原理，将混合于水的净化剂喷在瓶胆内形成一层水膜，将空气中的灰尘以及细菌吸入水中，同时将经过净化的空气吹入室内，有效地去除室内的有毒素生物、灰尘、烟味、臭味、等，并产生大量的新鲜氧气。负离子法羟基负离子与空气中漂浮的有害气体接触后，能还原来自大气的污染物质、氮氧化物、等产生的活性氧(氧自由基)、减少过多活性氧对人体的危害;中和带正电的空气飘尘无电荷后沉降，使空气得到净化。