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　　目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程，是含湿量保持不变的过程，即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，

　　无尘车间净化工程最主要的作用在于控制产品所接触的空气的无尘度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大小划分标准的粒子数量来规定。

　　洁净衣物材料的基本条件是洗涤或其他处理后不会产生灰尘，布料不易燃烧和起毛，其织造方法或布料的组织不易通过污染物，不粘附污染物。此外，摩擦后不会产生静电或很小的起电，易清洗再生，不易起皱，佩戴舒适感等也可考虑选用。风帽材质为无尘纸或无纺布，帽子材质与干净衣服相同。磨损和使用时，除了眼睛和面部的表面暴露外，其他部位需要覆盖。头部与外套的连接处也覆盖，头发不能暴露。无尘车间鞋子应该穿着合脚舒适。

　　在精密机械加工和计量等场合，为了因热膨胀而引起的误差，使工件保持一定的温度（temperature)。工件温度的允许波动幅度应根据加工精度决定。例如，在恒温室里对一根长500mm的标准尺刻线，工艺允许线间公差为2um，其中lum为尺温变化所引起的形变误差，另1um为加工与量测误差。1um折合尺温变化量＝0。20C[a为尺线膨胀系数，取10／um／(m?K)；l为尺长，m]，故工件温度变化需在以内。但由于工件测量仪器等都有一定的热惰性，空气温度的波动传人工件后，就要衰减。在设计恒温系统时，一般总是以恒定环境空气温度为依据，故相应的环境温度精度可比工件允许的温度精度低一些。