大连电子仟级无尘车间专业规划设计

　　材料和设备的进出也经过清洁程序，以免影响清洁度。清洁房间内的设备或材料时，工作人员穿干净的衣服。使用的擦拭纸是无尘纸或无尘布，不会脱落羊毛。除使用超纯水外，清洁剂还添加3~5%浓度的ipa或丙酮化学品，以增强去污能力。由于ipa和丙酮的挥发性，考虑该房间的排气影响。除了用于进出无尘车间的干净衣服、鞋子、兜帽、帽子、手套和口罩外，还有纸文具、桌子、椅子、芯片盒、手推车、笔记本、布告板、垃圾箱、吸尘器等。

　　垂直单向流净化车间包括垂直单向流满布过滤器+格栅回风、垂直单向流满布孔板+格栅回风、垂直单向流满布阻尼层+格栅回风、垂直单向流两侧下回风+过滤器送风、垂直单向流两侧下回风+孔板送风、垂直单向流两侧下回风+阻尼层送风、垂直单向流+周边压出式回风+满布过滤器送风、无气幕部垂直单向流、有围挡壁的部垂直单向流。水平单向流净化车间包括水平单向流直回式、水平单向流隧道式、全侧墙回风式/全地面回风式/侧墙和地板组合回风式、水平单向流一侧回式、水平单向流双侧回式、水平单向流上回风式、水平单向流对送式。

　　出口湿度的设定值。根据送风露点温度并与露点温度设定值进行比较，通过PID控制算法，得出一个计算值，根据该计算值来确定表冷阀和加湿阀开度的大小，其控制流程与温度控制类似，同时也引入了分程控制，避免临界状态下加湿与之间不断切换而导致的湿度控制的波动。洁净室温度控制洁净室内的温度PID 控制流程如图6 所示，采用的是基本的PID 控制， 由于洁净室本身的大空间而造成的大惯性、大时滞性，在设置PID没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。