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　　湿度处理———包括一次表冷盘管、二次表冷盘管、蒸汽加湿三部分。预热盘管的作用是对外气进行预加热。在外界气温较低，接近零度时，为了避免盘管在气温低于零度时被冻坏，需对外气进行加热，通常是加热到12℃。控制送风温度时，将送风温度与其设定值进行比较，通过PID控制算法，得出一个计算值，根据该计算值来确定一次表冷盘管与再热盘管阀门开度的大小，其控制流程如图4 所示。在整个PID 闭环控制环节中引入分程控制器模型，如图5 所示，将PID

　　，净化厂房建设，运输，储存，施工过程中环境保护，环境污染禁止禁止。建筑工程材料的产尘是一种具有不可忽视的污染源。合景净化工程公司实践研究明，即使在无碰撞的情况下，建筑施工材料以及表面也在不断地向周围环境空间散发微粒子，而这些问题都与材料的使用这种状态、质量、老化严重程度等有着自己直接相关关系。在电子厂净化车间内，某些企业电子技术产品会因化学污染物在产品表面降落沉积从而产生影响公司产品服务质量管理或在后续发展生产活动过程中发生化学反应，造成次品以至废品，所以电子厂净化车间装饰材料(包括密封材料)不得采用对电子信息产品有影响的材料。在进行自我净化车间设计或选用装饰材料时，应与具体分析项目的业主方或生产加工工艺提供方进行社会协调后确定。

　　十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。

　　每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在个以下，就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米个以内，这也就是业内俗称的1K级别。无尘室、无尘车间若使用吸尘器，对过滤能力，吸尘能力都是有高要求的。加大的HEPA过滤器是基本配置，对颗粒物灰尘物质的过滤芯要求达到99.97%之03.um，吸尘管与接头这些与设备密切接触的部件都是防静电式材质 。