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　　洁净室温湿度处理基本流程及常见问题洁净室温湿度处理基本流程前摄像头:5.0MP 后摄像头:13.0MP AF半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱(Meup Air Unit，MAU)+风机过滤单元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盘管(Dry Cooling Coil，DCC)的设计，即新风空调箱MAU将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中，与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方，通过风机过滤单元FFU

　　无尘车间净化工程最主要的作用在于控制产品所接触的空气的无尘度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大小划分标准的粒子数量来规定。

　　出口新风湿度进行调节，将洁净室相对湿度测量值与相对湿度设定值进行比较，由此计算出所需要MAU出口新风相对湿度，其计算过程与温度设定值的计算过程类似，然后配合MAU 出口新风温度设定值，计算出MAU 的出口露点温度设定值， 由此来控制MAU 出口的湿度。实际应用中，通过在洁净室温湿度控制系统中引入模糊控制环节和分程控制环节，发挥模糊控制鲁棒性强、动态响应好、上升时间快、超调小的特点,

　　关于过滤器，装置方向有必要正确:用波纹板组合过滤器在竖向装置时，波纹板有必要笔直于地上；过滤器在竖向与结构之间的连接，禁止渗漏、变形、破损和漏胶等，装置后有必要确保内壁清洁，无浮尘、油污、锈蚀及杂物等。替换过滤器要注意的疑问，替换前要整理风口箱体里面的杂物和其他的物质，装置时要直接接触过滤器的滤纸，损坏过滤器滤纸。过滤器在竖向与结构之间的连接，禁止渗漏、变形、破损和漏胶等，装置后有必要确保内壁清洁，无浮尘、油污、锈蚀及杂物等。