保定化工净化工程设计专业规划设计

　　洁净室(Clean Room)，亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净程度和控制污染的持续稳定性，是检验洁净室质量的核心标准，该标准根据区域环境、净化程度等因素，分为若干等级，常用的有标准和国内区域行业标准，一些净化工程公司，在通行标准之外，还设有自身执行的高于化通行标准的净化，净化能力和环境适应力远超品牌。

　　以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。

　　材料和设备的进出也经过清洁程序，以免影响清洁度。清洁房间内的设备或材料时，工作人员穿干净的衣服。使用的擦拭纸是无尘纸或无尘布，不会脱落羊毛。除使用超纯水外，清洁剂还添加3~5%浓度的ipa或丙酮化学品，以增强去污能力。由于ipa和丙酮的挥发性，考虑该房间的排气影响。除了用于进出无尘车间的干净衣服、鞋子、兜帽、帽子、手套和口罩外，还有纸文具、桌子、椅子、芯片盒、手推车、笔记本、布告板、垃圾箱、吸尘器等。

　　出口湿度的设定值。根据送风露点温度并与露点温度设定值进行比较，通过PID控制算法，得出一个计算值，根据该计算值来确定表冷阀和加湿阀开度的大小，其控制流程与温度控制类似，同时也引入了分程控制，避免临界状态下加湿与之间不断切换而导致的湿度控制的波动。洁净室温度控制洁净室内的温度PID 控制流程如图6 所示，采用的是基本的PID 控制， 由于洁净室本身的大空间而造成的大惯性、大时滞性，在设置PID