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　　出口新风湿度进行调节，将洁净室相对湿度测量值与相对湿度设定值进行比较，由此计算出所需要MAU出口新风相对湿度，其计算过程与温度设定值的计算过程类似，然后配合MAU 出口新风温度设定值，计算出MAU 的出口露点温度设定值， 由此来控制MAU 出口的湿度。实际应用中，通过在洁净室温湿度控制系统中引入模糊控制环节和分程控制环节，发挥模糊控制鲁棒性强、动态响应好、上升时间快、超调小的特点,

　　净化车间压差值的选择应适当，选择过小，净化车间压差易被破坏，洁净度受到干扰；选择过大，HVAC系统新风量增大，负荷增加，过滤器寿命缩短。因此，净化车间压差值大小应合理确定（对一般净化车间为正压，生物学净化车间为负压）。净化车间压差是由送入新风量的大小来保持的，即:压差建立的基本原理是送风量大于回风量、排风量、漏风量之和，其中漏风量大小取决于建筑物围护结构的密封程度，如门缝、窗缝、壁板拼缝、各种管线接口等，这些将影响到漏风量的大小，使室内压差很难维持或不稳定。无论是风空气系统，还是循环空气系统，通过净化车间的送入风量与排风量和压差风量（余风量）之间达到平衡便建立了压差。

　　无尘净化板车间的优势，防尘，防静电，抗菌等效果​；有一定的耐腐蚀性，洁净室通常都需频繁擦拭，除了用水擦拭还会用消毒水、酒精等消毒，这些液体通常都有一定的化学品性，会使一些材料表面变色、脱落、恒远使用宝钢、冠洲等优质耐腐蚀原材料，板材使用更持久；还具有很好的抗氧化性，不产生锈蚀，整体来说净化板有平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚静电、避免眩光、并有舒适感等优点。

　　目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程，是含湿量保持不变的过程，即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，