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　　洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.

　　洁净室温湿度处理基本流程及常见问题洁净室温湿度处理基本流程前摄像头:5.0MP 后摄像头:13.0MP AF半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱(Meup Air Unit，MAU)+风机过滤单元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盘管(Dry Cooling Coil，DCC)的设计，即新风空调箱MAU将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中，与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方，通过风机过滤单元FFU

　　按所输送物料性质安排管道。管道应集中敷设，冷热管要隔开布置，在垂直排列时，热介质管在上，冷介质管在下；无腐蚀性介质管在上，有腐蚀性介质管在下；气体管在上，液体管在下；不经常检修管在上，检修频繁管在下；高温管在上，低温管在下；保温管在上，不保温管在下；金属管在上，非金属管在下。水平排列时，粗管靠墙，细管在外；低温管靠墙，热管在外，不耐热管应与热管避开；无支管的管在内，支管多的管在外；不经常检修的管在内，经常检修的管在外；高压管在内，低压管在外；输送有腐蚀性介质的管道，不得在人行通道上方设置阀件、法兰等，以免渗漏伤人；输送介质的管道，不得敷设在生活间、楼梯间和走廊等处；管道通过防破区时，墙壁应采取措施封固，蒸汽或气体管道应从主管上部引出支管。

　　净化车间压差值的选择应适当，选择过小，净化车间压差易被破坏，洁净度受到干扰；选择过大，HVAC系统新风量增大，负荷增加，过滤器寿命缩短。因此，净化车间压差值大小应合理确定（对一般净化车间为正压，生物学净化车间为负压）。净化车间压差是由送入新风量的大小来保持的，即:压差建立的基本原理是送风量大于回风量、排风量、漏风量之和，其中漏风量大小取决于建筑物围护结构的密封程度，如门缝、窗缝、壁板拼缝、各种管线接口等，这些将影响到漏风量的大小，使室内压差很难维持或不稳定。无论是风空气系统，还是循环空气系统，通过净化车间的送入风量与排风量和压差风量（余风量）之间达到平衡便建立了压差。