佛山化工洁净车间设备专业规划设计

　　每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在个以下，就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米个以内，这也就是业内俗称的1K级别。无尘室、无尘车间若使用吸尘器，对过滤能力，吸尘能力都是有高要求的。加大的HEPA过滤器是基本配置，对颗粒物灰尘物质的过滤芯要求达到99.97%之03.um，吸尘管与接头这些与设备密切接触的部件都是防静电式材质 。

　　无尘车间的净化工程是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把 空气中微粒子、有害空气、细菌等其他污染物排除室外，并将室内无尘度、温度、湿度、室内压力、气流的速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电的控制在某一需求范围内。

　　材料和设备的进出也经过清洁程序，以免影响清洁度。清洁房间内的设备或材料时，工作人员穿干净的衣服。使用的擦拭纸是无尘纸或无尘布，不会脱落羊毛。除使用超纯水外，清洁剂还添加3~5%浓度的ipa或丙酮化学品，以增强去污能力。由于ipa和丙酮的挥发性，考虑该房间的排气影响。除了用于进出无尘车间的干净衣服、鞋子、兜帽、帽子、手套和口罩外，还有纸文具、桌子、椅子、芯片盒、手推车、笔记本、布告板、垃圾箱、吸尘器等。

　　在单向流洁净室内，干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，而是靠洁净气流的推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的。所以前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”，前苏联称之为“被挤压的弱空气射流”。干净空气就好比一个空气活塞，沿着房间这个“汽缸”，向前（下）推进，而使尘粒只能前（下）进，没有返回，把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。