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　　乱流洁净室的原理和特性定义:乱流洁净室的定义是气流以不均匀的速度是不平行流动，伴有回流或涡流的洁净室。原理:乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，把室内污染逐渐排出，来实殃洁净的（乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别）。特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净级别。换气次数决定定义无反顾的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）洁净室的新风要求按《洁净厂房设计规范》规定，乱流洁净室新风量应不小于总风量的10%-30%；单向流洁净室，新风量应不小于总风量的2%-4%，当然也可以根据洁净室的具体功能而定。

　　无尘车间之定义无尘车间(Clean Room)，亦称为无尘室或洁净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘车间主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。

　　开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低，将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据，空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%，因此对空调设备进行优化控制，选择合理温湿度设定值，对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展，更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进入亚纳米时代，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制，包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。

　　乱流洁净室也叫非单向流洁净室，非单向流洁净室的原理是靠洁净送风气流扩散、混合、不断稀释室内空气，把室内污染逐渐排出，达到平衡。简言之，非单向流洁净室的原理就是稀释作用。 特点:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）。