河源电子10万级净化车间专业规划设计

　　无尘车间，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘车间拥有不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能的特性。

　　则单纯靠加热/冷却过程是不能实现的。冷却去湿过程是湿空气经冷却达到饱和后继续制冷的过程,湿空气经过冷却盘管结露析出水滴从而降低了对湿度,起到去湿的作用。因而我们可以将空气处理过程分为加热、加湿、降温及降温去湿等四个过程。图1中,横坐标为含湿量，即每千克空气所含有的水蒸量;纵坐标为摄氏温度。根据目标状态，对湿度线和目标温度线可以划分为四个控制区: Zone 1，ZoneZone 3，Zone 4。

　　单向流净化车间的性能特性包括:流线平行度，即流线平行的作用是尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播，如果流线是渐变流的曲线，那么其和工作区下限平面的交点以及和下限平面1.05m处的平面的交点之间的连线，与水平方向的倾角应大于65°；乱流度（速度不均匀度），即速度场的集中或离散程度，速度场均匀对于单向流净化车间是其重要的，不均匀的速度场会增加速度的脉动性，促进流线间质点的掺混；下限风速，即净化车间能控制各种污染的较小风速，下限风速是指净化车间能控制以下四种污染的较小风速:当污染气流多方位散布时，送风气流要能有效控制污染的范围。不仅要控制上升高度，还要控制横向扩散距离；当污染气流与送风气流同向时，送风气流能有效地控制污染气流到达下游的扩散范围；当污染气流与送风气流逆向时，送风气流应能将污染气流抑制在必要的距离之内；在全室被污染的情况下，要能以合适的时间迅速使室内空气自净。

　　每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。工业洁净车间管道布置的一般原则管路的布置类型一般有如下几种:埋地敷设管路；管沟敷设管路；沿地敷设管路；架空敷设管路。在管道布置设计时，首先要统一协调工艺和非工艺管的布置，然后按工艺流程并结合设备布置、土建情况等布置管道。