朝阳医院洁净车间设备专业规划设计

　　开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低，将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据，空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%，因此对空调设备进行优化控制，选择合理温湿度设定值，对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展，更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进入亚纳米时代，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制，包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。

　　无尘车间洁净室，亦称为无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力。洁净技术，是指对象(产品、人 及动物)在被加工、处置、治疗、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物 (影响对象的加工、处置、治疗等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术，是一门以生产与研究工作受环境因素的干扰和影响，保护产品或研究对象不受有害物质污染为核心内容的新兴技术。

　　十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。

　　这个系统中，工艺管道主要包括净化水系统和物料系统，这个系统的水平管线大都是布置在技术夹层内。一些需要经常清洗灭菌的管道应采用可拆式活接头，并宜明敷。公用工程管线气体管道中除煤气管道明装外，一般上水、下水、动力、空气、照明、通信、自控、气体等管道均可将水平管道布置在技术夹层中。工业洁净车间内的电气线路一般宜采用电源桥架敷线方式，这样有利于检修，有利于工业洁净车间布置的调整。暗敷管道的常见方式有技术夹层和管道竖井以及技术走廊。