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　　无尘车间，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘车间拥有不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能的特性。

　　依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度优于1000级。

　　化学式净化方式光催化法 工作原理:空气通过光催化空气净化装置时，光触媒在光的照射下自身不起变化，却可以促进化学反应的物质空气中的有害物质如甲醛、苯等在光催化的作用下发生降解，生成无害的物质，而空气中的细菌也被紫外光除掉，空气因此得到净化。 缺点:广谱但需要空气流速较低，净化速度比较慢并且对人体有一定的辐射，在欧美是被汰的净化方式。 甲醛清除剂 工作原理:是采用化学物质和甲醛进行化学反应，达到清除甲醛的目的

　　辐（矢）流净化车间辐流净化车间的气流是以放射型的流线流出，流线之间没有竖向交叉，可用相对少量的送风获得较高级别的洁净度。辐流净化车间应属于非单向流，但又有比较接近于单向流的效果，而又远比单向流在构造上简单。可提供净化车间、洁净厂房的咨询、规划、设计、施工、安装改造等配套服务。辐流净化车间空态时流线不交叉，流线间横向扩散比较弱，在下风向上角有弱的反向气流，污染在室内的滞留时间短于非单向流净化车间的自净时间；静态时，在障碍物的下风侧或两侧出现涡流区，因此在辐流净化车间中应尽可能避免在流线方向上的障碍。辐流洁净室的气流分布不如单向流净化车间的气流分布均匀，风口和过滤器均比常规风口和过滤器复杂一些，并且在非空态时容易产生涡流区。