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　　出口湿度的设定值。根据送风露点温度并与露点温度设定值进行比较，通过PID控制算法，得出一个计算值，根据该计算值来确定表冷阀和加湿阀开度的大小，其控制流程与温度控制类似，同时也引入了分程控制，避免临界状态下加湿与之间不断切换而导致的湿度控制的波动。洁净室温度控制洁净室内的温度PID 控制流程如图6 所示，采用的是基本的PID 控制， 由于洁净室本身的大空间而造成的大惯性、大时滞性，在设置PID

　　以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。

　　乱流洁净室的作用原理是:当一股干净气流从送风口送入室内时，迅速向四周扩散、混合，同时把差不多同样数量的气流从回风口排走，这股干净气流稀释着室内污染的空气，把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了，直至达到平衡。所以气流扩散得越快，越均匀，稀释的效果就越好，因此乱流洁净室的原理就是稀释作用。 温度的需求，风机过滤单元自带风机，能独立送风，因而不必接连空调风管一样能够工作，因而对温度需求不是很高的，能够选用风机过滤单元，也能够选用送风口。

　　空气洁净度等级空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度，通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低，含尘浓度低则洁净度高。空气洁净度的高低可以用空气洁净度等级来区分。空气洁净度级别则以每立方米空气中的允许微粒数来确定。洁净室（区）是指空气悬浮粒子浓度、含菌浓度受控的房间（限定的空间），房间（空间）的建造和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和滞留粒子等，房间（空间）内其它相关参数如温度、相对湿度和压力按要求进行控制。