南京电子净化工程设计专业规划设计

　　无尘车间，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘车间拥有不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能的特性。

　　十万级洁净车间防静电环氧树脂地板工程。十万级洁净车间结构装修要点十万级洁净车间、更衣室内围护隔断和天花采用50mm厚的聚苯乙烯加芯彩钢板，吊顶高度为2.5米。十万级洁净车间内采用铝合金彩钢板单门、双门。人员进入洁净区经过换鞋间、更衣室、缓冲间进入。十万级洁净车间的地面采用防静电环氧树脂地板。无尘车间清洁要求如下:清洁洁净室墙壁时，应使用洁净室无尘布；用90%去离子水和10%异丙醇配制洗涤剂；

　　在进入或离开洁净厂房之前戴好防静电手套或手指套，手指套要戴十只手指，更换时把废旧手指套扔入指定的收纳盒或垃圾桶内，不需要顺手乱扔，影响车间整洁卫生.

　　更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进入亚纳米时代，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制，包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。

　　为了达到目标温湿度控制点，其对应的温湿度控制分区处理过程为:在Zone 1 的范围内，先降温去湿，再加热。在Zone 2的范围内，先降温，再加湿。在Zone 3 的范围内，先加热，再加湿。在Zone4 的范围内，先降温去湿，再加热。定义:D—控制对象含湿量，T—控制对象温度。通常情况下， 对于设定值温度22±2℃，湿度45±5%RH 而言，Zone1 和Zone3的情况比较多，即需要先降温去湿然后再加热或者先加热然后再加湿。