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　　洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.

　　单向流净化车间的性能特性包括:流线平行度，即流线平行的作用是尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播，如果流线是渐变流的曲线，那么其和工作区下限平面的交点以及和下限平面1.05m处的平面的交点之间的连线，与水平方向的倾角应大于65°；乱流度（速度不均匀度），即速度场的集中或离散程度，速度场均匀对于单向流净化车间是其重要的，不均匀的速度场会增加速度的脉动性，促进流线间质点的掺混；下限风速，即净化车间能控制各种污染的较小风速，下限风速是指净化车间能控制以下四种污染的较小风速:当污染气流多方位散布时，送风气流要能有效控制污染的范围。不仅要控制上升高度，还要控制横向扩散距离；当污染气流与送风气流同向时，送风气流能有效地控制污染气流到达下游的扩散范围；当污染气流与送风气流逆向时，送风气流应能将污染气流抑制在必要的距离之内；在全室被污染的情况下，要能以合适的时间迅速使室内空气自净。

　　目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程，是含湿量保持不变的过程，即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，

　　进入无尘车间知道的事情。进入无尘车间要穿干净的鞋子，不能带油渍、污泥在里面；室内不准吸烟、饮食；焊接、切割、钻孔等多尘作业。加以控制，以碎片广泛扩散。每天工作结束时，应将垃圾搬出房间，倒入指定的地方；建筑材料堆放整齐；禁止在室内小便；违反以上规定者，立即取消无尘车间工作资格。无尘车间不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:对于300000级空气净化处理，可采用亚过滤器代替过滤器;空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理，应采用初、中、过滤器三级过滤器;中效或空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段;或亚空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。