青海仟级无菌室车间

　　无尘室洁净工作台的构造要求:台面，采用木塑贴面制成，贴于层压板上，或用不锈钢制作；箱体，用热扎薄钢板与骨架气焊易变形，可冷轧薄板折边搭接，大电流电焊，内表面需粘贴消音材料，罪大尺寸应以通过普通房门为宜。

　　进出无尘净化车间的管理进入无尘净化车间的人员应严格要求执行人身净化制度、路线和顺序。退出无尘净化车间时，按如上顺序、路线进行，不允许将洁净用品带门厅。若有吹淋室，按规定进行吹淋后,方可进入无尘净化车间内。无尘车间设计同时，严格按照风淋室的规格和使用要求，控制每次进入风淋室风淋的人数，不允许正在风淋室强行关闭运行风机或电源。一般经过风淋，人身表面散发的灰尘粒子数减少40—60%。为不干扰室内的洁净气流型式，在作业区上流侧不应放置物品，回风口附近不要堆放物；送风孔板下不应堵塞和堆放物品，生产操作应在洁净工作台或气流的上游进行。

　　洁净室中无尘车间地板、墙面、天花板材料选购的知识对于半导体工业而言，无尘车间是一必要且不可缺之设备，其对空气中的粒子要求之严格，故对天花板、墙壁、地板的要求亦严格。地板是人员、台车及重量的运输，而清除地板所用者大部分为消品及化学品，当我们看见地板磨损时，也就是使用期已太久，快破裂了，不仅会使得清静度的降级，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。无尘车间其选择地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R 

　　将每立方米小于0.5微米的微尘量控制在3500微米以下，达到无尘标准A级。当前应用于晶片级生产和加工的无尘标准对粉尘的要求比A级高，这种高标号主要用于某些等级的芯片生产。该行业中所称的“1K”水平，严格控制每立方米1000个微尘。无尘室中的洁净工作台可按产品要求或其它使用方法的要求，进行高清洁净度的部净化操作。它能在操作台的部空间内形成无菌、无尘的部净化，它的主要组成部分包括预滤器、髙效过滤器、风扇单元、外壳、静压箱、台面及辅助电器元件等。