上海玻璃万级无尘室专业车间施工团队

　　洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.

　　FFU风机过滤单元FFU为英文缩写，全称为 Fan Filter Units, 中文意思为"风机滤器单元(机组)"，也称空气过滤单元。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、过滤器过滤，它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。各净化工程企业的FFU执行标准略有不同，业内通行的为:过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出，但稳定性差距很大。经过实地检测，品牌普遍适应"中国环境因素"，质量虽然普遍高于国产公司，但1年后的稳定性测试普遍不理想;而大部分国内低端品牌的工程质量也较差强人意。净化工程行业开始注重产品质量与稳定性的双向验收标准，并逐步以实地检测数据(之前多依靠行业报告)更真实的体现工程性价比。

　　目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。温湿度控制系统实现基本上， 现在洁净室温湿度要求为22±2℃，45±5%RH，当然根据生产工艺的需求，对温湿度的要求也不尽相同。新风空调箱的温湿度控制新风空调箱基本结构新风空调箱基本结构如图3 所示，其处理流程如下:空气过滤———包括初效、中效、三部分;温度处理———包括预热盘管、一次表冷盘管、再热盘管三部分;

　　引入洁净室(区)的支管宜暗敷，各种明设管道不得出现不易清洁的部位，洁净室内的管道应排列整齐，尽量减少洁净室内的阀门、管件和管道支架；各种给水管道宜竖向布置，在靠近用水设备附近横向引入，尽量不在设备上方布置横向管道，水在横管上滞留；从竖管上引出支管的距离宜短，一般不宜超过支管直径的6倍；排水竖管不应穿过洁净度要求高的房间，须穿过时，竖管上不得设置检查口，管道弯曲半径宜大不宜小。地下管道应在地沟管槽或地下埋设，技术夹层主管上的阀门、法兰和接头不宜设在技术层内，其管道连接应采用焊接，这些主管的放净口、吹扫口等均应布置在技术夹层之外。穿越洁净室的墙、楼板、硬吊顶的管道应敷设在预埋的金属套管中，管道与套管间应有密封措施。