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　　洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.

　　建好一个无尘车间,首先要根据实际的生产流程设定相应的功能间,同时考虑人流物流的走向和工作效率.在平面方案初步确定的基础上,再确定洁净区与非洁净区,洁净区的洁净等级.然后确定相应的换气次数或是截面风速.然后布置送回风口,设计洁净送风机组(大小,位置,风机空调选型等),设计送回新风管道等.当然强弱电给排水也要设计.然后就是按图施工洁净室的构成及注意事项洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:

　　出口新风湿度进行调节，将洁净室相对湿度测量值与相对湿度设定值进行比较，由此计算出所需要MAU出口新风相对湿度，其计算过程与温度设定值的计算过程类似，然后配合MAU 出口新风温度设定值，计算出MAU 的出口露点温度设定值， 由此来控制MAU 出口的湿度。实际应用中，通过在洁净室温湿度控制系统中引入模糊控制环节和分程控制环节，发挥模糊控制鲁棒性强、动态响应好、上升时间快、超调小的特点,

　　目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程，是含湿量保持不变的过程，即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，