宜春电子百洁无室专业规划设计

　　开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低，将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据，空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%，因此对空调设备进行优化控制，选择合理温湿度设定值，对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展，更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进入亚纳米时代，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制，包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。

　　每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在个以下，就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米个以内，这也就是业内俗称的1K级别。无尘室、无尘车间若使用吸尘器，对过滤能力，吸尘能力都是有高要求的。加大的HEPA过滤器是基本配置，对颗粒物灰尘物质的过滤芯要求达到99.97%之03.um，吸尘管与接头这些与设备密切接触的部件都是防静电式材质 。

　　十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。

　　洁净室内的灰尘主要来自于室内流动的 空气及在室内活动的人体。当设备条件 确定后，提高洁净度也就是要求大限度地将人体产生的微小尘埃控制在衣服内，不让它穿过面料进入到空气中去由于是在洁净室内穿着，要求面料不能成 为洁净室中的发尘源，这就决定了超净面料 只能用化学合成的长    纤维来生产。而棉、麻、 丝等天然短纤维不能应用于超净面料，虽然 这些原料可以使面料的服用性更佳。同时要求所选用的化纤长丝也要严格控制 发尘量。一般来讲，全消光涤纶长丝不适合 于织防静电超净面料。因为涤纶生产中加入    的消光剂-钛白粉会成为污染源。