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　　洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.

　　目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程，是含湿量保持不变的过程，即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，

　　混合流净化车间混合流净化车间的气流是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一起构成的气流流型。这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到较小，用大面积非单向流替代大面积单向流，以节省初投资和运行费用。净化车间压差控制净化车间压差控制的目的在于净化车间在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时，气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域，使净化车间的洁净度不会受到污染空气的干扰，因此净化车间须保持一定的压差。影响净化车间压差的波动因素通常包括室外风压、风速的变化；HVAC系统阻力的变化；风管的泄漏及净化车间围护结构气密性变化等。

　　乱流洁净室的作用原理是:当一股干净气流从送风口送入室内时，迅速向四周扩散、混合，同时把差不多同样数量的气流从回风口排走，这股干净气流稀释着室内污染的空气，把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了，直至达到平衡。所以气流扩散得越快，越均匀，稀释的效果就越好，因此乱流洁净室的原理就是稀释作用。 温度的需求，风机过滤单元自带风机，能独立送风，因而不必接连空调风管一样能够工作，因而对温度需求不是很高的，能够选用风机过滤单元，也能够选用送风口。