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　　洁净室温湿度处理基本流程及常见问题洁净室温湿度处理基本流程前摄像头:5.0MP 后摄像头:13.0MP AF半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱(Meup Air Unit，MAU)+风机过滤单元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盘管(Dry Cooling Coil，DCC)的设计，即新风空调箱MAU将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中，与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方，通过风机过滤单元FFU

　　一般洁净室效果图乱流洁净室原理洁净室按其气流状态来区分，主要分为乱流（非单向流）洁净室、单向流洁净室和辐流洁净室（也称矢流洁净室）。乱流洁净室的名称是借用于日文，现在上则惯称这种洁净室为非单向流洁净室。所谓乱流洁净室，一般包括以下各种送风形式:过滤器顶送（有扩散板和无扩散板）；流线型散流器顶进；侧送:具有这种送风形式的洁净室，如以雷诺数（指在流体运动中惯性力对黏滞力比值的无量钢数Re=UL/ν。其中U为速度特征尺度,L为长度特征尺度，V为运动学黏性系数）判断，显然属于紊流流态，但是如果把它们称为紊流洁净室就不合适。气流沿整个顶棚下送，室内气流速度达到0.25m/s以上，这种室内的流动状态也是紊流，但在后面就会搞清楚，虽然这两种送风方式都造成室内紊流流态，但是就其净化室内空气的原理来说，却是根本不同的，后者属于单向流或平行流洁净室的净化原理。所以如果把前者称为紊流洁净室，则后者也应被包含进去了。

　　FFU风机过滤单元FFU为英文缩写，全称为 Fan Filter Units, 中文意思为"风机滤器单元(机组)"，也称空气过滤单元。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、过滤器过滤，它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。各净化工程企业的FFU执行标准略有不同，业内通行的为:过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出，但稳定性差距很大。经过实地检测，品牌普遍适应"中国环境因素"，质量虽然普遍高于国产公司，但1年后的稳定性测试普遍不理想;而大部分国内低端品牌的工程质量也较差强人意。净化工程行业开始注重产品质量与稳定性的双向验收标准，并逐步以实地检测数据(之前多依靠行业报告)更真实的体现工程性价比。

　　乱流洁净室也叫非单向流洁净室，非单向流洁净室的原理是靠洁净送风气流扩散、混合、不断稀释室内空气，把室内污染逐渐排出，达到平衡。简言之，非单向流洁净室的原理就是稀释作用。 特点:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）。