广州电子净化工程设计专业规划设计

　　在JIS标准下，无尘室清洁度，共分为8个等级一般清洁度是指空气的洁净等级，分为等级1、2???8，8阶段。在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3，一次类推。21世界，尖端产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化，尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室用防尘材料及商品都显得格外重要。

　　根据物料性质的不同，管道应有一定坡度。其坡度方向一般为顺介质流动方向(蒸汽管相反)，坡度大小为:蒸汽0.005，水0.003，冷冻盐水0.003，生产废水0.001，蒸汽冷凝水0.003，压缩空气0.004，清净下水0.005，一般气体与易流动液体0.005，含固体结晶或黏度较大的物料0.01。管道通过人行道时，离地面高度不少于2m；通过公路时不小于4.5m；通过工厂主要交通干道时一般应为5m。长距离输送蒸汽的管道，在一定距离处应安装冷凝水排除装置，长距离输送液化气体的管道，在一定距离处应安装垂直向上的膨胀器。

　　依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度优于1000级。

　　乱流洁净室也叫非单向流洁净室，非单向流洁净室的原理是靠洁净送风气流扩散、混合、不断稀释室内空气，把室内污染逐渐排出，达到平衡。简言之，非单向流洁净室的原理就是稀释作用。 特点:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）。